Источник питания магнетронной распылительной системы MPS650-15

Источник питания MPS650-15 предназначен для питания регулируемым постоянным током магнетронных распылительных систем, используемых в процессах вакуумного напыления тонкопленочных покрытий.

Источник питания «бюджетного» класса предназначен для использования с магнетронными распылительными системами металлизации подложек, работает в режиме источника постоянного тока с ограничением мощности потребляемой нагрузкой. Источник питания имеет встроенную систему обнаружения и подавления дуговых разрядов.

Технические характеристики источника питания MPS650-15:

Амплитуда напряжения импульса инициирования разряда, В, не менее1000,0
Максимальное рабочее напряжение, В650,0
Диапазон регулирования тока нагрузки при напряжении разряда 650 В, А0 – 15,0
Диапазон регулирования тока нагрузки при напряжении разряда 400 В, А0 – 25,0
Время реакции на возникновение микродуги, мкс, не более3,0
Методы обнаружения микродугиdU/dt; UxI, Imax
ИндикацияЦифровая: напряжение и ток нагрузки
Режимы управленияМестное / дистанционное
Интерфейс дистанционного управленияАналоговый (0-5В), дискретный =24В
Блокировка включенияВнешний сигнал =24 В
Максимальная потребляемая мощность, кВА, не более11,0
Габаритные размеры5U, 19”,D=495mm
Масса, кг, не более30,0
ОхлаждениеВоздушное, забор воздуха через лицевую панель.
Характеристики питающей сети3х380В, N, PE 50/60 Гц

Примечание: Параметры источника питания могут быть изменены по требованию заказчика.