Источник питания магнетронной распылительной системы MPS650-15М

Источник питания MPS650-15М предназначен для питания регулируемым постоянным или униполярным импульсным напряжением магнетронных распылительных систем, используемых в процессах вакуумного напыления тонкопленочных покрытий.

Источник питания работает в режимах регулирования тока нагрузки, напряжения на нагрузке и мощности, подводимой к нагрузке. Источник питания имеет встроенную систему обнаружения и подавления микродуг. Источник питания может быть применен в качестве источника питания электрического смещения подложки.

Технические характеристики источника питания MPS650-15М:

Амплитуда напряжения импульса инициирования разряда, В, не менее1000,0
Диапазон регулирования выходного напряжения, В50 - 650,0
Диапазон регулирования тока нагрузки при напряжении разряда 650 В, А0 – 15,0
Диапазон регулирования выходной мощности источника питания, кВА0 – 10,0
Диапазон регулирования частоты следования импульсов напряжения на выходе источника питания (скважность >2), кГц0 – 25,0
Время реакции на возникновение микродуги, мкс, не более1,0
Методы обнаружения микродугиdU/dt; UxI, Imax
ИндикацияЦифровая: напряжение и ток нагрузки
Режимы управленияМестное / дистанционное
Интерфейс дистанционного управленияRS-485
Блокировка включенияВнешний сигнал =24 В
Максимальная потребляемая мощность, кВА, не более11,5
Габаритные размеры5U, 19”,D=495mm
Масса, кг, не более32,0
ОхлаждениеВоздушное, забор воздуха через лицевую панель.
Характеристики питающей сети 3х380В, N, PE 50/60 Гц

Примечание: Параметры источника питания могут быть изменены по требованию заказчика.