Источник питания PARC 120-20/3М предназначен для питания и управления импульсным электродуговым испарителем PARC 49 или PARC 29/3. Отличие источника питания PARC 120-20/3М от PARC 120-20/3 состоит в наличии системы, обеспечивающей синхронизацию работы источника с однотипным источником питания в режиме ведущего или ведомого устройства, а также с источником питания электрического смещения подложек BPS 150-30P120 и каналов управления коммутатором электромагнитной системы отклонения потока углеродной плазмы DCC3000. Основные технические характеристики источника питания соответствуют характеристикам PARC 120-20/3.