Импульсный электродуговой генератор углеродной плазмы предназначен для получения относительно плотного потока плазмы, состоящего преимущественно из ионов углерода. Плазменный поток образуется как результат эрозии катода генератора сопровождающей процесс импульсного электродугового разряда в вакууме.

Принцип работы и устройство генератора PARC 29/3 аналогичны принципу работы и устройству генератора PARC 29. PARC 29/3 представляет собой три генератора PARC 29 объединенные в одном блоке для расширения зоны осаждения тонкопленочного покрытия. Генераторы имеют общие цепи питания анода и дополнительного анода. Цепи питания катодов и поджигающих электродов разъединены.

Технические характеристики

Диаметр катода	29 мм
Число катодов	3
Ресурс каждого катода до обслуживания или замены	100 000 импульсов
Частота следования импульсов основного разряда при энергии, освобождаемой в течение одного импульса, 120 Дж	≥ 45 Гц (3×15 Гц)
Высота зоны покрытия на расстоянии 150 мм от внешнего среза анода	300 мм
Общее число импульсов, необходимое для получения тонкопленочного покрытия толщиной 1 мкм при простом вращении оснастки	≤ 180 000 (≤ 60 000 для одного катода)
Присоединительные размеры	прямоугольный фланец 370×170 / 320×120 мм