Импульсный электродуговой генератор плазмы PARC 49

Импульсный электродуговой генератор углеродной плазмы предназначен для получения относительно плотного потока плазмы, состоящего преимущественно из ионов углерода. Плазменный поток образуется как результат эрозии катода генератора сопровождающей процесс импульсного электродугового разряда в вакууме.
Принцип работы и устройство генератора
Технические характеристики
Диаметр катода | 49 мм |
Ресурс катода до обслуживания или замены | 150 000 импульсов |
Частота следования импульсов основного разряда при энергии, освобождаемой в течение одного импульса |
|
Высота зоны покрытия на расстоянии 150 мм от внешнего среза анода | 150 мм |
Число импульсов, необходимое для получения тонкопленочного покрытия толщиной 1 мкм при простом вращении оснастки | |
Присоединительные размеры | фланец |