Импульсный электродуговой генератор плазмы PARC 49

Импульсный электродуговой генератор углеродной плазмы предназначен для получения относительно плотного потока плазмы, состоящего преимущественно из ионов углерода. Плазменный поток образуется как результат эрозии катода генератора сопровождающей процесс импульсного электродугового разряда в вакууме.

Принцип работы и устройство генератора PARC 49 аналогичны принципу работы и устройству генератора PARC 29. В отличие от PARC 29 в этом устройстве катод имеет диаметр 49 мм и три пары инициирующих электродов, что обуславливает улучшение его технических характеристик.

Технические характеристики

Диаметр катода 49 мм
Ресурс катода до обслуживания или замены 150 000 импульсов
Частота следования импульсов основного разряда при энергии, освобождаемой в течение одного импульса 120 Дж ≥ 25 Гц
Высота зоны покрытия на расстоянии 150 мм от внешнего среза анода 150 мм
Число импульсов, необходимое для получения тонкопленочного покрытия толщиной 1 мкм при простом вращении оснастки ≤ 60 000
Присоединительные размеры фланец ISO-F 250